Metoda za pripravo polisilicija.

1. Nalaganje

Postavite prevlečeni kremenčev lonček na mizo za izmenjavo toplote, dodajte surovino iz silicija, nato namestite opremo za ogrevanje, izolacijsko opremo in pokrov peči, izpraznite peč, da zmanjšate tlak v peči na 0,05-0,1 mbar in vzdržujte vakuum. Uvedite argon kot zaščitni plin, da ohranite tlak v peči v bistvu na približno 400-600 mbar.

2. Ogrevanje

Uporabite grafitni grelnik za segrevanje telesa peči, najprej izhlapite vlago, adsorbirano na površini grafitnih delov, izolacijskega sloja, silicijevih surovin itd., in nato počasi segrevajte, da temperatura kremenčevega lončka doseže približno 1200-1300 °C.℃. Ta postopek traja 4-5 ur.

3. Taljenje

Uvedite argon kot zaščitni plin, da ohranite tlak v peči v bistvu na približno 400-600 mbar. Postopoma povečajte moč gretja, da prilagodite temperaturo v lončku na približno 1500℃, silicijeva surovina pa se začne topiti. Zadrži približno 1500℃med postopkom taljenja, dokler taljenje ni končano. Ta postopek traja približno 20-22 ur.

4. Kristalna rast

Ko se silicijeva surovina stopi, se moč ogrevanja zmanjša, da temperatura lončka pade na približno 1420-1440℃, ki je tališče silicija. Nato se kremenčev lonček postopoma premika navzdol ali pa se izolacijska naprava postopoma dviga, tako da kremenčev lonček počasi zapusti ogrevalno cono in tvori izmenjavo toplote z okolico; hkrati se voda spusti skozi hladilno ploščo, da zniža temperaturo taline z dna, na dnu pa najprej nastane kristalni silicij. Med procesom rasti ostane mejna površina med trdno in tekočino vedno vzporedna z vodoravno ravnino, dokler rast kristala ni končana. Ta postopek traja približno 20-22 ur.

5. Žarjenje

Po končani rasti kristala lahko zaradi velikega temperaturnega gradienta med dnom in vrhom kristala v ingotu pride do toplotne napetosti, ki jo je med segrevanjem silicijeve rezine in pripravo baterije enostavno znova zlomiti. . Zato se po končani rasti kristala silicijev ingot vzdržuje blizu tališča 2-4 ure, da se temperatura silicijevega ingota izenači in zmanjša toplotna obremenitev.

6. Hlajenje

Ko je silicijev ingot žarjen v peči, izklopite moč gretja, dvignite toplotno izolacijsko napravo ali popolnoma spustite silicijev ingot in v peč uvedite velik pretok plina argona, da postopno znižate temperaturo silicijevega ingota blizu sobna temperatura; hkrati se tlak plina v peči postopoma dviguje, dokler ne doseže atmosferskega tlaka. Ta postopek traja približno 10 ur.